Mục tiêu xi lanh quay titan

Đây là một thành phần được sử dụng trong quy trình lắng đọng hơi vật lý (PVD), đây là phương pháp lắng đọng các lớp vật liệu mỏng lên chất nền. Mục tiêu ống titan được làm bằng titan nguyên chất và có hình dạng giống như một hình trụ quay trong quá trình PVD.

Quá trình PVD hoạt động bằng cách sử dụng hồ quang điện hoặc phun magnetron để làm bay hơi vật liệu mục tiêu, trong trường hợp này là titan, và lắng đọng nó dưới dạng màng mỏng lên chất nền. Mục tiêu hình trụ quay cho phép lắng đọng đồng đều hơn màng titan lên chất nền.

Lợi ích của việc sử dụng trong quy trình PVD bao gồm độ tinh khiết cao của màng lắng đọng, tỷ lệ lắng đọng cao và độ bám dính của màng được cải thiện. Các mục tiêu quay titan để phun magnetron được làm bằng vật liệu titan chất lượng cao và được thiết kế để chịu được nhiệt độ cao và ứng suất cơ học trong quá trình PVD.

Giới thiệu đặc điểm kỹ thuật

Loại kích thước bình thường:

Lợi thế của chúng tôi

Các mục tiêu titan chúng tôi cung cấp có hạt nhỏ, phân bố đồng đều, độ tinh khiết cao, ít tạp chất và độ tinh khiết cao. Màng TiN lắng đọng được sử dụng trong trang trí, dụng cụ, chất bán dẫn và các lĩnh vực khác, có độ bám dính tốt, lớp phủ đồng đều và màu sắc tươi sáng.

--Độ tinh khiết

Để sản xuất ra một mục tiêu phun titan đạt tiêu chuẩn, độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất quan trọng của nó. Độ tinh khiết của mục tiêu titan có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của lớp phủ phun. Độ tinh khiết của mục tiêu titan càng cao thì các hạt tạp chất trong màng titan phun càng ít, dẫn đến hiệu suất phủ PVD tốt hơn, bao gồm khả năng chống ăn mòn và tính chất điện và quang học tốt hơn. Tuy nhiên, trong các ứng dụng thực tế, các mục tiêu titan cho các mục đích khác nhau có các yêu cầu khác nhau về độ tinh khiết. Vật liệu mục tiêu được sử dụng làm nguồn catốt trong quá trình phun và các tạp chất và tạp chất xốp trong vật liệu là nguồn ô nhiễm chính của màng lắng đọng. Các tạp chất xốp sẽ được loại bỏ về cơ bản trong quá trình thử nghiệm không phá hủy thỏi và các tạp chất xốp không được loại bỏ sẽ gây ra sự phóng điện trong quá trình phun, do đó ảnh hưởng đến chất lượng của màng; hàm lượng tạp chất chỉ có thể được phản ánh trong kết quả thử nghiệm phân tích toàn bộ nguyên tố, hàm lượng tạp chất tổng thể càng thấp thì độ tinh khiết của mục tiêu titan càng cao.

--Mật độ

Mật độ cũng là một yếu tố quan trọng trong việc đo lường chất lượng của mục tiêu titan. Để giảm độ xốp trong chất rắn của mục tiêu và cải thiện hiệu suất của màng phun, mục tiêu thường được yêu cầu có mật độ cao hơn.

Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phun mà còn ảnh hưởng đến các đặc tính điện và quang của màng. Mật độ mục tiêu càng cao thì hiệu suất của màng càng tốt. Ngoài ra, việc tăng mật độ và độ bền của mục tiêu cho phép mục tiêu chịu được ứng suất nhiệt tốt hơn trong quá trình phun. Mật độ cũng là một trong những chỉ số hiệu suất chính của mục tiêu.

--Kích thước hạt và sự phân bố của nó

Thông thường, các mục tiêu phun là các cấu trúc đa tinh thể có kích thước hạt theo thứ tự từ vài micromet đến vài milimét. Đối với cùng một mục tiêu, kích thước hạt của mục tiêu càng nhỏ thì tốc độ phun của mục tiêu càng nhanh; ngoài ra, mục tiêu có sự khác biệt về kích thước hạt nhỏ hơn có thể phun một lớp màng có độ dày đồng đều hơn. Nghiên cứu phát hiện ra rằng nếu kích thước hạt của mục tiêu titan được kiểm soát dưới 100 μm và sự thay đổi của kích thước hạt được giữ trong phạm vi 20%, chất lượng của lớp màng phun có thể được cải thiện đáng kể.

--định hướng tinh thể

Titan có cấu trúc lục giác đóng chặt. Vì các nguyên tử của mục tiêu titan dễ dàng bị bắn phá theo hướng lục giác đóng chặt của các nguyên tử trong quá trình bắn phá, để đạt được tốc độ bắn phá cao hơn, có thể thay đổi cấu trúc tinh thể của mục tiêu bằng cách thay đổi phương pháp. để tăng tốc độ bắn phá. Hướng tinh thể của mục tiêu titan cũng có ảnh hưởng lớn đến độ đồng đều về độ dày của màng bắn phá.

--Tính đồng nhất về cấu trúc

Độ đồng đều về mặt cấu trúc cũng là một trong những chỉ số quan trọng để kiểm tra chất lượng của mục tiêu. Đối với mục tiêu titan, không chỉ cần mặt phẳng phun của mục tiêu mà còn cần thành phần hướng pháp tuyến, hướng hạt và độ đồng đều về kích thước hạt trung bình của mặt phẳng phun. Chỉ bằng cách này, mục tiêu titan mới có thể thu được màng titan có độ dày đồng đều, chất lượng đáng tin cậy và kích thước hạt đồng đều cùng một lúc trong suốt thời gian sử dụng.

Trường hợp đặc điểm kỹ thuật

Tốc độ quay: Mục tiêu phải có khả năng quay với tốc độ lên tới vài nghìn vòng/phút để đạt được tốc độ lắng đọng đồng đều hơn và kéo dài tuổi thọ của mục tiêu.

Làm mát: Mục tiêu ống titan phải được làm mát bằng nước để tản nhiệt sinh ra trong quá trình lắng đọng và ngăn ngừa hư hỏng cho mục tiêu.
Tấm lót: Tấm lót bằng titan thường được sử dụng để đỡ mục tiêu xi lanh quay và cung cấp tiếp xúc điện.
Phương pháp liên kết: Mục tiêu thường được liên kết với tấm nền bằng liên kết khuếch tán hoặc các phương pháp liên kết cường độ cao khác để đảm bảo độ dẫn nhiệt và dẫn điện tốt.
Độ tinh khiết: Các mục tiêu quay titan để phun magnetron phải có độ tinh khiết cao để giảm thiểu tạp chất trong màng lắng đọng và đảm bảo hiệu suất nhất quán. Mức tạp chất phải nhỏ hơn 1000 phần triệu (ppm) đối với hầu hết các ứng dụng.

Nhìn chung, thông số kỹ thuật của mục tiêu hình trụ quay titan sẽ khác nhau tùy thuộc vào yêu cầu ứng dụng cụ thể và mục tiêu có thể được tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu này.

Chú phổ biến: Mục tiêu quay bằng titan cho quá trình phun magnetron, mục tiêu ống titan